工信部公开推广两款DUV光刻机！最小套刻≤8nm！多只光刻机股走强

  最近，国产光刻机的研发进展引起了大家的关注，尤其是干式ArF光刻机的入选推广目录，仿佛给了整个半导体行业一针强心剂。这一突破能否让我们打破对进口设备的依赖？想知道光刻机的核心技术背后还有哪些秘密，快来一起深入探讨！

  光刻机是半导体制造中不可或缺的设备，也是半导体设备中技术上的含金量和门槛最高的设备之一。过去国产光刻机一直是“梗在喉咙上的一颗骨头”，尽管国内企业不断追赶，但与国外同行相比仍有不小差距。

  近年来随着国产ASML的研发进展，国产光刻机的出货量有所增加。但其整体技术水平与进口设备相比仍有一定差距，国产化率更是低得令人担忧的2.5%。

  9月9日，工信部发布了《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》，这是2022年版指导目录发布后的首次修订。指导目录发布前夕，投资者们的关注点大多分布在在其内容是否会涵盖ASML的EUV光刻机。而令人惊喜的是，此次干式ArF光刻机被纳入推广目录，而其主要指标与ASML的TWINSCAN XT1460K相似。

  此次入选的干式ArF光刻机为氟化氩光刻机，其最小可探测特征尺寸为10纳米，用于半导体工艺中的65纳米以下集成电路的光刻曝光。其最小线纳米。

  目前国内尚无法生产干式ArF光刻机，主要进口品牌为荷兰ASML公司。此次国产干式ArF光刻机的问世，将逐步推动半导体产业链的国产化，减少对进口设备的依赖。

  进口光刻机受限，国内市场对先进设备的需求持续不断的增加。受此利好消息影响，光刻机概念股集体异动。

  而这并非光刻机概念股异动的第一次，此前进口光刻机数量和金额双双创下历史上最新的记录后，相关概念股便出现了一波上涨。6月29日，依据工业与信息化部发布的多个方面数据显示，2022年一季度国内芯片巨头采购进口光刻机100余台、总金额超过100亿元；5月19日发布的多个方面数据显示，2022年半导体行业一季度进口芯片制造设备同比增长78.4%。

  进口光刻机数量和金额均创下历史上最新的记录后，相关概念股也出现了一波上涨。而这并非光刻机概念股异动的第一次。

  2016年以来，由于中美半导体技术大战爆发，东方大国加速推进自主研发半导体设备及材料。但进口EUV光刻机等设备技术实现“突围”，国内企业仍难以实现突破。根据公开信息统计，截至目前国产ASML的进口替代量仅为2台左右。

  进入2020年后，受疫情影响、全球芯片短缺等多重因素激发下，半导体产业迎来爆发式增长。为应对国家安全风险及避免外部制裁，国之重器半导体行业国产设备加速落地。2024年版指导目录首次将干式ArF光刻机纳入，给予了国内企业研发的肯定。

  半导体设备制造业正处于风口浪尖，国产光刻机的崛起既是挑战也是机遇。我认为，只有不断突破技术瓶颈，才能在全球市场中占有一席之地。你们怎么看？欢迎在评论区分享你的观点，别忘了点赞支持哦！

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